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  1. 全自动晶圆成像电阻率测试仪

    2021-05-19

    一、产品概述

    本仪器主要通过四探针法测试单晶硅电阻率,具有自动定位的三坐标自动测量系统,可以自由设置测量点数量,自动测试完成,可以对测试出的数据进行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圆电阻率测试仪器。

    仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

    本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试

    二、仪器构成:

    本仪器主要组成部分有:

    1、 高精度电阻率测试仪

    2、 三坐标测试移动平台

    3、 测试探头

    4、 上位机软件测量成像系统

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